| Ürün adı: | SJ6000 Lazer İnterferometre Ölçüm Sistemi | Doğrusal ölçüm aralığı: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Çözünürlük: | 1nm | Lazer frekansı doğruluğu: | 0,05ppm |
| Çalışma sıcaklığı:: | (0-40) ℃ | Dinamik yakalama oranı:: | 50khz |
| Vurgulamak: | 0.05ppm Lazer İnterferometre Ölçüm Sistemi,1nm Lazer İnterferometre Ölçüm Sistemi,1nm Yer Değiştirme Ölçüm İnterferometresi |
||
Lazer interferometri, yüksek hassasiyetli, çok hassas bir ölçüm yöntemi olarak tanınır. Yüksek kaliteli imalatta yaygın olarak kullanılan bir ölçüm yöntemi olarak ışık dalga boyunu bir kriter olarak kullanır.SJ6000 lazer interferometre sistemi, bir ABD tedarikçisinden yüksek frekanslı bir Helium-Neon lazer jeneratörünü içerir., yüksek hassasiyetli çevresel telafi modülleri, gelişmiş lazer müdahale sinyali işleme ve yüksek performanslı bir bilgisayar kontrol sistemi.
Lazer çift boylamlı mod ve geometrik parametrelerle karışım optik yol tasarımı ile termal frekans stabilizasyon teknolojisini kullanan SJ6000, uzun süreli istikrarlı,Yüksek hassasiyet (0.05ppm) lazer çıkışı yaklaşık 6 dakika içinde, güçlü bir müdahale karşıtı performans gösterir. Çeşitli prizma modülleri ile doğrusallığı, açıyı, düzlüğü, düzlüğü, dikliği,ve dinamik özellikleri analiz eder..
| Sistem parametreleri | Çevre Algılayıcıları |
|---|---|
|
Ölçme yöntemi:Tek frekans Lazer frekansı doğruluğu:0.05 ppm Dinamik yakalama hızı:50 kHz Isınma zamanı:~ 6 dakika. Çalışma sıcaklığı:0-40°C Çevre:0-40°C, 0-95% nem Depolama sıcaklığı:-20°C ile 70°C arasında |
Atmosfer sıcaklığı:±0,1°C (0-40°C), 0,01°C çözünürlük Malzeme sıcaklığı:±0,1°C (0-40°C), 0,01°C çözünürlük Atmosfer nemliği:± 5% (0-95%) Atmosfer basıncı:±0,1kPa (65-115kPa) |
| Doğrusal Ölçüm | Açı Ölçümü |
|---|---|
|
Ölçüm aralığı:0-80m Ölçüm doğruluğu:0.5 ppm (0-40°C) Karar:1nm En yüksek hız:4m/s |
Eksen aralığı:0-15m Ölçüm aralığı:±10° Doğruluk:± ((0,02%R+0,1+0,24M) " Karar:0.1′′ R = gösterme değeri (′′), M = ölçülen uzunluk (m)
|
| Düzlük ölçümü | |
|---|---|
| Eksen aralığı:0-15m | Ölçüm aralığı:±1,5 mm |
| Doğruluk:± 0,2%R+0,02M2) μm | Karar:0.1 μm |
| Substrat boyutu:180mm ayarlanabilir, 360mm ayarlanabilir | |
|
R = gösterme değeri (μm), M = ölçülen uzunluk (m)
|
|
| Düzlük ölçümü | Kısa düzlük | Uzun Düzlük |
|---|---|---|
| Eksen aralığı | 0.1-4m | 1-20m |
| Ölçme aralığı | ±3.0mm | ±3.0mm |
| Doğruluk | ± ((0,5+0,25%R+0,15M2) μm | ± ((5,0+2,5%R+0,015M2) μm |
| Karar | 0.01 μm | 0.01 μm |
|
R = gösterme değeri (μm), M = ölçülen uzunluk (m)
|
||
| Dümdüzlük ölçümü | Kısa düzlük | Uzun Düzlük |
|---|---|---|
| Eksen aralığı | 0.1-3m | 1-15m |
| Ölçme aralığı | ±3.0mm | ±3.0mm |
| Doğruluk | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | ± 2,5+2,5%R+0,08M) μm/m |
| Karar | 0.01 μm | 0.01 μm |
|
R = gösterme değeri (μm), M = ölçülen uzunluk (m)
|
||