| Ürün Adı: | SJ6000 Lazer İnterferometre Ölçüm Sistemi | Doğrusal ölçüm aralığı: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Çözünürlük: | 1nm | Lazer frekansı doğruluğu: | 0,05ppm |
| Çalışma Sıcaklığı:: | (0-40) ℃ | Dinamik yakalama oranı:: | 50khz |
| Vurgulamak: | Tek Frekanslı Lazer İnterferometre,0.05ppm Ölçüm Cihazları,1nm Çözünürlük Ölçüm Cihazları |
||
Lazer interferometre, üst düzey üretim alanlarında yaygın olarak kullanılan, ışık dalga boyunu bir kriter olarak kullanan, yüksek hassasiyetli, yüksek hassasiyetli bir ölçüm yöntemi olarak kabul edilmektedir. SJ6000 lazer interferometre sistemi, ABD'li bir tedarikçiden alınan yüksek frekanslı Helyum-Neon lazer jeneratörünü, yüksek hassasiyetli çevresel dengeleme modüllerini, gelişmiş lazer girişim sinyali işlemeyi ve yüksek performanslı bir bilgisayar kontrol sistemini içerir.
Lazer ikili boylamsal modun termal frekans stabilizasyon teknolojisini ve geometrik parametrelerin müdahale ettiği optik yol tasarımını kullanan SJ6000, güçlü parazit önleme performansıyla hızlı bir şekilde (yaklaşık 6 dakika) uzun vadeli kararlı, yüksek hassasiyetli (0,05 ppm) lazer çıkışı sağlar. Farklı prizma modülleri ile doğrusallık, açı, düzlük, düzlük, diklik ölçebilir ve dinamik özellikleri analiz edebilir.
| Parametre | Şartname |
|---|---|
| Ölçüm yöntemi | Tek frekans |
| Lazer frekans doğruluğu | 0,05ppm |
| Dinamik yakalama oranı | 50kHz |
| Isınma süresi | Yaklaşık 6 dakika |
| Çalışma sıcaklığı | (0-40)°C |
| Çevre koşulları | Sıcaklık: (0-40)°C, Nem: %0-95 |
| Depolama sıcaklığı | -20°C ila 70°C |
| Sensör Tipi | Şartname |
|---|---|
| Atmosfer sıcaklığı sensörü | ±0,1°C (0-40)°C, çözünürlük: 0,01°C |
| Malzeme sıcaklık sensörü | ±0,1°C (0-40)°C, çözünürlük: 0,01°C |
| Atmosfer nemi sensörü | ±%5 (%0-95) |
| Atmosfer basıncı sensörü | ±0,1kPa (65-115)kPa |
| Parametre | Şartname |
|---|---|
| Ölçüm aralığı | (0-80)m |
| Ölçüm doğruluğu | 0,5ppm (0-40)°C |
| Ölçüm çözünürlüğü | 1nm |
| Maksimum ölçüm hızı | 4 m/sn |
| Parametre | Şartname |
|---|---|
| Eksenel aralık | (0-15)m |
| Ölçüm aralığı | ±10° |
| Kesinlik | ±(%0,02R+0,1+0,24M)″ (R değeri gösterir, birim: ″; M, m cinsinden ölçülen uzunluktur) |
| Ölçüm çözünürlüğü | 0,1" |
| Parametre | Şartname |
|---|---|
| Eksenel aralık | (0-15)m |
| Düzlük ölçüm aralığı | ±1,5 mm |
| Kesinlik | ±(%0,2R+0,02M²)μm (R, μm cinsinden değeri gösterir; M, m cinsinden ölçülen uzunluğu gösterir) |
| Yüzey boyutu | 180mm ayarlanabilir, 360mm ayarlanabilir |
| Ölçüm çözünürlüğü | 0,1μm |
| Tip | Eksen Aralığı | Ölçüm Aralığı | Kesinlik | Çözünürlük |
|---|---|---|---|---|
| Kısa doğruluk | (0,1-4)m | ±3,0 mm | ±(0,5+0,25%R+0,15M²)μm | 0,01μm |
| Uzun düzlük | (1-20)m | ±3,0 mm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²)μm | 0,01μm |
| Tip | Eksen Aralığı | Ölçüm Aralığı | Kesinlik | Çözünürlük |
|---|---|---|---|---|
| Kısa doğruluk | (0,1-3)m | ±3,0 mm | ±(2,5+0,25%R+0,8M)μm/m | 0,01μm |
| Uzun düzlük | (1-15)m | ±3,0 mm | ±(2,5+2,5%R+0,08M)μm/m | 0,01μm |