3D Koordinat Ölçüm Makinesinin (CMM) gelişimi, 20. yüzyılın ortalarında manuel CMM'lerin piyasaya sürülmesiyle başladı.

Bu manuel makineler, fiziksel nesneleri ölçmek ve noktaların koordinatlarını manuel olarak kaydetmek için problar kullandı. Bilgisayar teknolojisinin ilerlemesiyle birlikte CMM'ler, ölçüm sürecini otomatikleştiren, doğruluğu ve verimliliği artıran bilgisayar destekli cihazlara dönüştü.

Günümüzde modern 3D CMM'ler, dokunmatik prob sistemleri, lazer tarayıcılar ve veri analizi, modelleme ve tersine mühendislik yazılımları gibi gelişmiş yazılım ve donanım özellikleriyle donatılmıştır. 3D CMM'ler havacılık, otomotiv ve imalat gibi çeşitli sektörlerde kalite kontrol, muayene ve üretim süreçlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.